日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀介紹

【資料簡介】

日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀介紹-MS-500，LC-450A，LC-450D，LC-860

氧氣表MS-500

• z多可以同時測量8個點
• 可以顯示從ppm級到100的多種濃度。
• 非常適合安裝在半導體制造設備，真空設備等上。
• 傳感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
• 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器，以進一步提高耐用性。

MS-500設備規格

測量原理			氧化鋯輕型電池
形狀			分體式（轉換器：壁掛式，傳感器：直接插入式）
顯示方式			4位數字顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2　10 -20?10 -0大氣壓 自動范圍
重復性			在±0.5％FS 0-1％范圍內或更高 ±1％FS以下或≤± 0.1ppm大于0-1ppm的0-1％內，atm范圍超出保證的濃度
測量點數			1-8
樣氣條件	壓力		10 -3至200 KPa（壓力）
	流量		0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然擴散狀態的測量）
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0-100℃
	其他		不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣			大氣層
記錄儀輸出			僅變速箱輸出
變速箱輸出			RS-232C
報警輸出			沒有
熱身時間			6分鐘以內
尺寸	MS-500（控制器）		92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起）
	MS-510（轉換器）		100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起）
	傳感器單元	SD16NW	總長100 mm（感應部分Φ11×39，主體部分Φ40×51）
		SD25NW	總長100mm（感應部分Φ11×42，主體部分Φ40×48）
		SD40NW	總長100 mm（感應部分Φ11×41，主體部分Φ40×49）
大眾	MS-500（控制器）		約0.6Kg
	MS-510（轉換器）		約0.5kg
	傳感器單元	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部連接			真空法蘭之一（NW16、25、40）
使用電源			24VDC±10％

氧氣計LC-450A，LC-450D

• 
  可以顯示很寬的濃度范圍，從測量到的濃度范圍內的ppm水平到100。
• 改進的傳感器耐用性
  氧氣傳感器經過特殊處理，以提高其耐用性。
• 交流寬電源AC100-240VAC（LC-450A）
  * LC-450D由24V DC驅動
• 緊湊且易于安裝
  深度比我們的傳統型號還要短，并且不會占用太多空間。
• 符合RoHS的產品
• CE標志自我聲明產品
  EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003

LC-450A設備規格

測量原理			氧化鋯輕型電池
形狀			桌面型/面板安裝型
顯示方式			4位數字顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2　10 -20?10 -0 ATM自動范圍
重復性			在±1％FS 0-1ppm之內，大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
取樣方式			內置泵的連續吸入型
樣氣條件	壓力		加壓30 KPa以下
	流量		1,000-2,000毫升/分鐘
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0-50℃
	其他		不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣			大氣層
記錄儀 輸出	氧氣濃度輸出		在4-20mA和0-20mA之間切換（可選0-10V）絕緣，負載電阻550Ω或更小 記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度
	輸出范圍		0-100，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自動/固定范圍
變速箱輸出			RS-232C
報警輸出	失敗（設備錯誤）	1分	非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 設備異常導致接點閉合（可以更改接點操作）
	ALM（濃度警報）	2點（H / L）	非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 發生警報時觸點閉合（可以更改接點操作）
	RDY（預熱信號）	1分	非電壓接點，接點容量30VDC / AC以下，0.5A以下 · 無電壓觸點的z小開關容量為12V或更高，并且無法承受微小的負載。
	MRK（范圍標記）輸出	2分	非電壓接點，接點容量30VDC / AC以下，0.5A以下
熱身時間			5分鐘以內
尺寸	身體		210（W）x 134（H）x 300（D）mm（不包括突起）
大眾			約6kg
氣體 連接口	進口		Rc1 / 4
	旁路輸出		Rc1 / 4
	出口		Rc1 / 4
使用電源			100-240VAC，50VA（穩定：35VA）50Hz / 60Hz

LC-450D設備規格

測量原理			氧化鋯輕型電池
形狀			桌面型/面板安裝型
顯示方式			4位數字顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2　10 -20?10 -0 ATM自動范圍
重復性			在±1％FS 0-1ppm之內，大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
取樣方式			內置泵的連續吸入型
樣氣條件	壓力		加壓30 KPa以下
	流量		?1,500L /分鐘
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0-50℃
	其他		不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣			大氣層
記錄儀 輸出	氧氣濃度輸出		0-10VDC，絕緣，負載電阻600kΩ或更高 （選件：4-20mA DC，絕緣，負載電阻550Ω或更低） 記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度
	輸出范圍		0-100，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自動/固定范圍
變速箱輸出			RS-232C
報警輸出	失敗（設備錯誤）	1分	非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 設備異常導致接點閉合（可以更改接點操作）
	ALM（濃度警報）	2點（L / LL）	非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 發生警報時觸點閉合（可以更改接點操作）
	RDY（預熱信號）	1分	非電壓接點，接點容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 在預熱操作期間觸點閉合（可以更改觸點操作） · 非電壓觸點的z小開關容量為12V或20mA或更高，并且無法承受微小的負載。
	MRK（范圍標記）輸出	2分	非電壓接點，接點容量30VDC / AC以下，0.5A以下
熱身時間			5分鐘以內
尺寸	身體		240（W）x 134（H）x 210（D）mm（不包括突起）
大眾			約5kg
氣體 連接口	進口		Rc1 / 8
	旁路輸出		Rc1 / 8
	出口		Rc1 / 8
使用電源			24VDC±10％，1.25A（30VA，穩態）

氧氣計LC-860

• 低濃度測量
  可以測量ppb到100
• 操作簡便
  按功能可輕松操作
• 吹掃功能
  比較氣體更穩定，測量更精que（僅適用于具有吹掃功能的規格）
• 高可靠性傳感器傳感器
  內部還可以進行防劣化處理（可選）

LC-860設備規格

測量原理			氧化鋯輕型電池
形狀			桌面型/面板安裝型
顯示方式			6位數字顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2　10 -20?10 -0大氣壓 自動/固定范圍
重復性			氧氣濃度在±1％FS之內且小于1ppm和0-1ppm，大氣壓范圍超出保證的濃度范圍
取樣方式			內置泵的連續吸入型
樣氣條件	壓力		加壓30 KPa以下
	流量		?1,500mL /分鐘
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0-50℃
	其他		不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣			大氣層
記錄儀 輸出	氧氣濃度輸出		4-20mA / 0-10V 4-20mA ：絕緣，負載電阻為600Ω或更低 0-10V：絕緣，負載電阻為500Ω或更高 記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度
	輸出范圍		0-100，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm， 0-10ppm，0-1ppm，10 -20 -10 -0　或自動/固定范圍的任 意4個范圍
變速箱輸出			RS-232C
報警輸出	失敗（設備錯誤）	1分	非電壓接點，接點容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小 由于設備異常，觸點閉合（可以更改觸點操作）
	ALM（濃度警報）	2分	非電壓接點，接點容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小 發生警報時觸點閉合（可以更改觸點操作）
	RDY（預熱信號）	1分	非電壓接點，接點容量24VDC / AC或更小，0.5A或更小 預熱操作期間觸點閉合（可以更改觸點操作） 無電壓觸點的z小開關容量為12V或更高，并且不能 承受微小的負載。
	MRK（范圍標記）輸出	3分	非電壓接點，接點容量24VDC / AC以下，0.1A以下
熱身時間			20分鐘以內
尺寸	身體		288（W）x 144（H）x 400（D）mm（不包括突起）
大眾			約10kg
氣體 連接口	進口		Rc1 / 8
	旁路輸出		Rc1 / 8
	出口		Rc1 / 4
使用電源			100-120VAC±10％200VA 50Hz / 60Hz的