在新材料研發、半導體制造等領域,材料氧化問題嚴重制約產品性能提升與壽命延長。抗氧化真空烤箱作為關鍵設備,傳統單一真空或充氮模式難以兼顧高效防氧化與節能需求。充氮 + 真空雙模式防護技術的出現,通過創新的氣氛調控與能耗優化策略,為材料熱處理提供了更優解決方案。
傳統真空模式雖能大幅降低氧氣含量,但高真空抽氣過程能耗巨大;單一充氮模式則存在氣體置換不殘留氧氣易引發局部氧化的風險。雙模式防護技術通過智能切換兩種模式,實現優勢互補。在預處理階段,設備優先啟動真空模式,利用多級真空泵快速抽氣,將箱內氣壓降至 10?3 Pa 量級,快速排出大部分空氣;當真空度達到設定閾值后,自動切換至充氮模式,以 0.1 - 0.3 m3/min 的流速充入高純氮氣(純度≥99.99%),進一步稀釋殘留氧氣,并在箱內形成正壓環境(約 5 - 10 kPa),防止外界空氣滲入。這種階梯式氣氛調控,使箱內氧含量可低至 10 ppm 以下,顯著提升防氧化效果。
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